半導體

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SPIN乾燥機

編號OB_202312071330211704BA

已售出

SPIN乾燥機

SPIN乾燥機

編號OB_202312071330211704BA
型號ACT-400WⅡS
製造商日本(株)ACTIVEアグライブ
出廠年份2014
5.0 萬

設備說明

特徵:接液部件由 PVC 或 PP 製成
開/關蓋中央裝有可充氮氣的接頭,使腔內形成氮氣環境。
基板尺寸:最大Φ6吋晶圓及□100mm玻璃基板
Utility:AC100V 最大6000rpm
尺寸:500W×686D×400H(ACT-400WIIS)