半導體

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KARL SUSS / MICROTEC 曝光機

編號OB_20251224154610063M3D

已售出

KARL SUSS / MICROTEC 曝光機

KARL SUSS / MICROTEC 曝光機

編號OB_20251224154610063M3D
型號 MJB-3
製造商KARL SUSS
出廠年份2010
面議

設備說明

用途: 光罩對準、曝光
要規格:
a.水銀汞燈 200W
b.曝光波長:365nm (positive resist exposures) ~405nm(negative resist exposures)
c. 解析度:可達到1.5微米的線/空解析度和0.2微米的對準精度